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玻璃是一種透明的類固體材料,在人們日常生活中應用廣泛。
玻璃具有其他材料所不具備的獨特性能:
1.它擁有好的光學性能,能反射、彎曲、透射和吸收光線,在整個可視范圍內甚至更遠,都具有較高的透明度。
2.從化學性能來說,玻璃是一種抗腐蝕的惰性材料,可以作為很多化學品的容器。
3.從熱力和電力方面來看,玻璃是一種絕緣體。
4.從物理性能來看,玻璃表面堅硬,防刮耐磨。
但是,也正是這些性能使得玻璃加工面臨著更大挑戰,例如一旦玻璃具備好的抗拉強度,就變得易碎。
因此,處理玻璃的方法和其應用都需要從長計議。玻璃制造可以追溯到公元前3500年左右。人工制造玻璃大概首先出現在美索不達米亞和埃及,首先被用來制作珠寶,隨后被用來制作壺。之后,加工工藝不斷改進,從手工加工演變為現今的高科技工業工藝,出現了眾多玻璃類別和應用。盡管玻璃制造歷史悠久,但近幾十年來由于玻璃的易碎性能,對于玻璃成品進行加工的工藝止步不前。
通常一個小裂紋就會造成玻璃破碎。一旦微裂紋在玻璃的某個部位形成,它就會蔓延至玻璃邊緣,造成破裂。玻璃的這種易碎屬性使其難以加工。另外一方面,不斷發展的技術使其可制成結構更小,且形狀各異的玻璃來應用于不同領域。傳統的方法,如光刻和電子束光刻等來加工玻璃,但這些技術過于昂貴,不易操作,特別是大面積使用?,F今,激光技術提供了加工玻璃的理想方法。直截了當的方法就是在波長范圍內利用單光子吸收,玻璃在紅外線或紫外線下不會高度透明。
但是,直接吸收會產生一些問題,包括不良熱影響以及形成熱影響區,這會產生微裂紋,嚴重危害玻璃的機械穩定性。此外,在玻璃表面下方進行加工,制造三維結構,需要使用高透明度波長。雖然納秒脈沖激光器可以用于在玻璃中制造次表層結構(如圖1),玻璃的物理機制會對微處理的精細程度造成限制,也會產生微裂紋。
圖1:使用納秒激光器(左圖)和使用近紅外(NIR)飛秒激光器(右圖)對玻璃進行激光加工示例。
近年來,一種激動人心的替代性工藝已投入工業應用,即使用超快激光器在近紅外波長范圍內產生次皮秒脈沖。在這一方法中,超短脈沖緊密聚焦于玻璃的大部分或表面,每平方厘米的功率密度超過數太瓦,引發復雜多樣的工藝,如同時多光子吸收、雪崩和碰撞電離,造成對玻璃基質高度局域化的破壞,同時幾乎不存在能量沉積(只有幾微焦甚至更少)。由于每次脈沖所用能量=適度,對該部位(甚至是聚焦體積)造成的熱影響可以忽略不計。這一方法通常被稱為“冷消融”,可以用來制造3D結構。和其他微制造技術相比,皮秒激光微制造透明材料具有獨特優勢。
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